離子鍍膜機用到冷卻水，什麽是離子鍍？

離子鍍

1.定義(yi)

蒸發物質的分子被電子碰撞電離後以離子沉積在固體(ti) 表麵，稱為(wei) 離子鍍。離子鍍是真空蒸發與(yu) 陰極濺射技術的結合。一種離子鍍係統如圖4[離子鍍係統示意圖]

2.原理

蒸發源接陽極，工件接陰極，當通以三至五千伏高壓直流電以後，蒸發源與(yu) 工件之間產(chan) 生輝光放電。由於(yu) 真空罩內(nei) 充有惰性氬氣，在放電電場作用下部分氬氣被電離，從(cong) 而在陰極工件周圍形成一等離子暗區。帶正電荷的氬離子受陰極負高壓的吸引，猛烈地轟擊工件表麵，致使工件表層粒子和髒物被轟濺拋出，從(cong) 而使工件待鍍表麵得到了充分的離子轟擊清洗。隨後，接通蒸發源交流電源，蒸發料粒子熔化蒸發，進入輝光放電區並被電離。帶正電荷的蒸發料離子，在陰極吸引下，隨同氬離子一同衝(chong) 向工件，當拋鍍於(yu) 工件表麵上的蒸發料離子超過濺失離子的數量時，則逐漸堆積形成一層牢固粘附於(yu) 工件表麵的鍍層。

3.分類

①  磁控濺射離子鍍

②  反應離子鍍

③  空心陰極放電離子鍍

④  多弧離子鍍。